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‘다목적 방사광 가속기’ 구축 기반 생기다…EUV 광원개발로 반도체 산업 지각변동 예고
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‘다목적 방사광 가속기’ 구축 기반 생기다…EUV 광원개발로 반도체 산업 지각변동 예고
  • 김동원 기자
  • 승인 2020.04.07 14:22
  • 댓글 0
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강원도-춘천시-한양대, ‘다목적 방사광가속기 구축’ 위한 MOU 체결

[산업단지신문 = 김동원 기자] 강원도와 춘천시가 ‘다목적 방사광 가속기’ 구축에 나섰다.

강원도와 춘천시는 7일(화) 도청 본관 소회실에서 ‘다목적 방사광가속기 구축’을 위해 EUV 관계자들과 업무협약을 체결했다고 밝혔다.

▲ 왼쪽부터 최문순 강원도지사_안진호 한양대 EUV-IUCC 센터장_이재수 춘천시장 (사진 : 강원도)
▲ 왼쪽부터 최문순 강원도지사_안진호 한양대 EUV-IUCC 센터장_이재수 춘천시장 (사진 : 강원도)

이번 업무협약으로 강원도는 1조 원 대에 이르는 신규 방사광가속기 국가 공모사업에 적극 참여할 계획이다.

협약식에는 최문순 강원도지사, 이재수 춘천시장, 안진호 한양대 EUV-IUCC(극자외선-산학협력연구센터) 센터장 등이 참석했다.

다목적 방사광가속기 신규 구축사업은 2028년 운영을 목표로 2022년부터 6년간 1조원대의 사업비를 투자하여 반도체, 바이오, 에너지와 같은 첨단산업과 과학기술 분야의 기초원천연구를 지원할 예정이다.

방사광가속기는 비아그라, 타미플루와 같은 신약 개발 등 의학 분야에 큰 성과를 나타냈지만 에너지, 반도체, 자동차와 같은 산업기술의 발전에도 크게 기여할 것으로 기대되고 있다.

특히, 방사광가속기는 우리나라 대표 산업 중 하나인 반도체 분야에서 성과가 기대된다. 10나노 이하의 미세공정을 위해 필수적인 극자외선(EUV, extreme ultra violet) 노광기술 장비는 현재 네덜란드 ASML사가 전 세계적으로 독점하고 있지만, 4세대 방사광가속기를 이용하면 EUV 광원개발도 가능하기 때문이다.

관계자는 “신규 다목적 방사광가속기가 구축되면 국내 반도체 산업은 물론 소재·부품·장비 부문에도 큰 지각변동을 일으킬 것이다”라고 전했다.

안진호 한양대 EUV-IUCC(극자외선-산학협력연구센터) 센터장은 “강원도의 4세대 방사광가속기 구축과 EUV 전용 빔라인 구축을 위해 협력하겠다”고 말했다.

춘천시는 서울-양양고속도로, ITX, 전철 등 편리한 교통편과 수도권과 40분 대 거리로 출퇴근이 가능한 지리적 접근성 및 용이성에서 어느 지역보다 우수한 지역으로 평가되고 있어 방사광가속기가 유치되면 이용자의 절반에 가까운 수도권 소재 산업계의 이용환경을 크게 개선할 것으로 전망된다.

최문순 강원도지사는 “통일한국의 중심 축이 될 춘천에 방사광가속기가 구축되면 평화 한반도 시대 신 혁신 패러다임 조성으로 국가 과학기술의 도약과 미래 성장동력을 창출하여 국가 경쟁력을 제고할 절호의 기회로, 향후 모든 역량을 결집하여 방사광가속기 유치에 총력을 기울이겠다”고 말했다.


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